У комерційних мікромашинних датчиках тиску значна частина вартості складається з упаковки пристрою. Якщо використовувати міцний матеріал для підложки та упаковки датчиків, тобто виготовляти датчик безпосередньо на упаковці, можна знизити вартість системи в цілому. У цій роботі як потенційна міцна підкладка та матеріал діафрагми для мікромашинних пристроїв був досліджений нержавіючий сталь. Для виготовлення були досліджені техніки процесів ламінування в поєднанні з традиційними мікромашинними процесами. Щоб продемонструвати ці принципи, розроблені, виготовлені та охарактеризовані ємнісні датчики тиску на основі нержавіючої сталі. Кожен датчик використовує нержавіючу сталеву підкладку, ламінований плівковий матеріал з нержавіючої сталі як плавучу пластину і фіксований, поверхнево мікромашинований задній електрод з електролітованого нікелю. Чутливість пристрою, виготовленого з використанням цих технологій, складає 9,03 ppm kPa-1 зі зміною ємності на 0,14 пФ в діапазоні 0-178 кПа. Для усунення паразитних ефектів було введено два типи схеми читання для мікрофабрикованих датчиків. Нарешті, високоінтегровану мікросхему ASIC було інтегровано та виміряно з цим ємнісним датчиком тиску. Виміряне значення відносної зміни напруги складало 2,85% в діапазоні прикладеного тиску 0-75 кПа.